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优化红外薄膜镀膜工艺 硫化锌多层膜缺陷密度显著降低

2017/10/10 0:00:00 来源:光电技术研究所 关键词:聚风塑料网

中国科学院光电技术研究所薄膜光学技术研究室在低缺陷密度红外薄膜制备工艺方面取得进展,通过优化红外薄膜的镀膜工艺,硫化锌/氟化镱多层膜的缺陷密度显著降低。


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